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正是这项“发明”,摩尔定律才得以“延寿”数十年。
但是,随着制程从5nm持续缩进至3nm,半导体制造专家们发现,进一步减少 FinFET 尺寸,就越来越受到驱动电流和静电控制的限制。
而将要替代它的Gate All Around的常用名为GAAFET(全栅场效应管),它使用栅极包围的带状通道,从而能实现更快的晶体管切换速度和更好的控制。因此,在更小的占用空间内,可具备更高的性能。三星在2020年曾宣布将在3nm制程芯片上应用这一架构。
图片来自泛林半导体
听起来,“纳米片”的概念其实理解起来并不是那么困难;而且实际上,这项技术已经被研发多年。但其之所以不受业内“重用”,主要瓶颈就在于“材料”。
根据泛林半导体给出的解释,GAA晶体管是通过“交替硅”和“硅锗外延层”的超晶格来制作的,这是构成纳米片的基础,此外制作工艺相对复杂,可能需要钌、钼、镍等各种合金新材料进行沉积、蚀刻、填充。
一位半导体专家这样给虎嗅总结:“它(GAA)将对半导体的基底材料进行更改,半导体连接的材料也要进行更改。同时整个晶体管的物理结构也要变化。”
因此,带领团队开发这项技术的Sanjay Natarajan博士将英特尔的GAA——RibbonFET称为一次“晶体管性能上的重大飞跃”,并非虚话。
根据测试芯片结果,他们预计RibbonFET晶体管带来的性能和密度提升,将超过当下的FinFET晶体管。而Intel 20A将是应用RibbonFET的第一枚芯片。
而电能传输系统PowerVia则是英特尔工程师开发的一项独特技术。Sanjay Natarajan博士作为这项技术的开发负责人,指出半导体晶体管结构中存在的最大传统问题之一便是“布线效率低下”。
“传统互连技术是在晶体管层的顶部进行互联,经常产生电源线和信号线的互混,导致了布线效率低下,进而影响性能和功耗。”
值得注意的是,这两项将用于Intel 20A的关键技术,虽然不可避免被人诟病为“仍然处于PPT状态”(毕竟还都是PPT),但英特尔的专家们展示了这些测试芯片的扫描电镜图像,显然经过了一系列测试。
就像上面所说,它们的成功应用,将决定着英特尔是否能在5nm这个关键节点上进行反超。
英特尔2019年10月的制程产品规划图
现在来听,其实更像是英特尔在向外界喊话:你们以为我还想在“纳米时代”争夺领导权?不,我们要进入一个比纳米更小的单位去争夺话语权了。
写在最后…希望不是PPT
这一切难道不是意味着,所谓的纳米还是埃米的数字单位,已经越来越没意义了吗?

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