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浸润式光刻之父林本坚欲再造江湖?_-中文科技资讯-你关心的才是黑科技


  在这一过程当中,有一件比较神奇的事情,5μm阶段,当时的波长是436nm,而到7nm,波长是193nm,变化并不是特别大,这样,从光学的角度看,我们要实现将特征尺寸缩到波长的四十分之一,似乎是不可能完成的任务,我们需要跳出纯光学思维,从半导体的角度去考虑如何实现它。
  人的头发横截面直径大概是80μm,以采用28nm制程工艺的SRAM为例,可以在头发的横截面上放20735个这个样的SRAM单元,随着微缩技术的发展,在直径为80μm的横截面上,可以容纳越来越多的SRAM单元了。这主要是由光刻工艺及其技术演进实现的。
  光刻微缩的理论基础主要基于下图的方程式:分辨率和DOF(depth of focus,景深)。
  从图中的公式可以看出,分辨率主要由三个因数决定,分别是波长λ、镜头角度的正弦值sinθ,以及k1,其中,对于做光刻的人来� ....

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