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教授执掌公司上市按下“暂停键” 三年资产负债率飙至70%
上周(7月26日至31日),被外界冠以国产“光刻机第一股”的北京华卓精科科技股份有限公司(下称华卓精科)科创板IPO遭暂缓审议,而其余9家企业全部过会。上交所官网显示,自称光刻机核心部件生产商的华卓精科在2020年6月24日获得受理后,在当年7月23日进入问询状态,并于今年7月29日上会,公司排队时间已超一年。
华卓精科IPO进程 来源:上交所
作为一名“技术咖”,朱煜于2001年到清华大学进修博士后,便开始了有关光刻机的研究工作。从2004年至2021年,他已在清华大学执教16年。作为清华大学机械工程系长聘教授,朱煜还同时担任科技部重点领域创新团队负责人及国家02科技重大专项技术副总师。
不同于其他学科,光刻机这项顶尖的技术研究十分“烧钱”。朱煜在研究期间多次面临经费紧张的困境。2012年,47岁的朱煜带着团队走出象牙塔,成立了华卓精科。为了促进产学研交流,他曾在北京七星华创电子、北方华创科技集团担任独立董事,目前在沈阳芯源微电子设备、中国科学院沈阳科学仪器、沈阳富创精密设备兼任独立董事等职务。
招股书显示,华卓精科是一家集成电路制造装备及其核心部件、精密/超精密运动系统及相关技术供应商,主营产品包括精密运动系统、光刻机双工件台模块、静电卡盘和隔振器等。公司注册资本2.4亿元人民币,2015年完成股改后在新三板挂牌,并于2019年2月摘牌。一年后,华卓精科开始向科创板发起冲击。
从股权结构看,董事、首席科学家、核心技术人员朱煜合计持股54.23%,为公司实际控制人。南宁水木愿景创业投资中心(有限合伙)和北京水木长风股权投资中心(有限合伙)分别为第二及第三大股东,分别持股8.75%和6.78%。此外,公司目前的九位董事中,有五人曾经毕业或任教于清华大学。
华卓精科发行前股权结构 来源:华卓精科招股书
需要注意的是,近年来华卓精科负债高企。2018年、2019年和2020年,华卓精科负债合计分别为2.24亿元、5.2亿元和8.89亿元,资产负债率从2018年的52.18%飙升至70.77%。截至2021年3月末,负债总额为8.14亿元,较上年减少8.47%。华卓精科表示,主要系公司与政府补助资金相关的02专项研发投入抵减递延收益,以及归还短期借款所致。
招股书披露,华卓精科本次拟募集资金约7.35亿元,将用于半导体装备关键零部件研发制造项目、超精密测控产品长三角创新与研发中心建设、光刻机超精密位移测量及平面光栅测量技术研发项目等。
与光刻机巨头差距多大?
不过,从华卓精科的总研发投入上来看,有关光刻机双工作台的投入占总研发投入的比例每年都在90%以上,是公司最为重点的研发攻克对象。
华卓精科在招股书中表示,公司为中国国内首家可自主研发并实现商业化生产的光刻机双工件台供应商,同时在晶圆级键合设备、激光退火设备等领域实现了国产化,在中高端精密运动系统市场取得了一定市场份额,在静电卡盘领域打破了国外厂商长期垄断的局面。
光刻机为啥那么“烧钱”?中新经纬客户端查询多家券商研报及相关资料了解到,光刻机是半导体芯片制造环节必不可少的重要设备,一台光刻机的重量约180吨,其内部有超过8万个零件,几乎是全球最顶尖的设备生产商们相互配合才能生产一台,小到普通人用的手机芯片,大到航天航空领域,都离不开光刻机的功劳。
西南证券在研报中指出,光刻的工艺水平直接决定芯片的制程水平和性能水平,也是集成电路制造中最复杂、最关键的工艺步骤,其核心设备光刻机更是被誉为“半导体工业皇冠上的明珠”。不过,由于光刻机研发难度较大,且门槛较高,所以当前全球光刻机市场基本都是由荷兰光刻机巨头阿斯麦(ASML)垄断。
ASML全球副总裁、中国区总裁沈波曾表示,ASML每年逾10亿欧元的研发投入,连续20年研发出最新一款光刻设备。据ASML2020年财报披露,全年研发设计投入达22亿欧元。随着今年上半年持续“芯片荒”,光刻机订单火爆,ASML生产的EUV(光刻机的一种)订单创季度新高。2021年半年报披露,ASML上半年累计新接订单130.11亿欧元,超过2020年全年订单112.92亿欧元,同比增长211%。
然而,全球光刻机市场主要由境外厂商主导,中国光刻机市场仍处于起步阶段。华卓精科在招股书中指出,光刻机工件台是光刻机的核心子系统之一,国际主要光刻机整机生产厂商为ASML、尼康、佳能,前述三家厂商合计市场份额超过90%。尼康和佳能都是自主研发生产工件台,ASML的高端工件台也是自主研发生产,公司向这三家销售光刻机双工件台的机会较小。
华卓精科表示,上海微电子在光刻设备领域代表中国国内最先进的技术,是国内领先的半导体设备厂商。作为目前上海微电子光刻机双工件台产品的供应商,华卓精科在双工件台业务上只有这一家客户。
截至今年7月,除了一台发货给上海微电子的光刻机双工作台仍处于测试验收阶段、且并未收到付款之外,华卓精科并未实际销售出任何一台现实存在的光刻机双工作台设备。

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