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制备芯片原材料 我国有了更大的“锅”
随着技术人员操作机械臂，装载着一摞摞高纯钽靶材的巨型料架从设备缸体内缓缓升起……6月30日，位于浙江省余姚市，由宁波江丰电子材料股份有限公司（以下简称江丰电子）与四川航空工业川西机器有限责任公司（以下简称川西机器）联合研制的超大规格热等静压设备投产。
“这是目前国内有效热区容积最大的热等静压设备，可制备长度4米的超长规格高纯溅射靶材。” 江丰电子董事长兼首席技术官姚力军博士介绍，该设备完全国产化，相关技术参数均达到国际先进水平，可为我国战略性新兴材料的自主可控提供关键的工艺装备。
超大规格设备应需而生
近年来，国内开始出现少量专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业，突破靶材专业技术门槛，已在国内靶材市场占据一定份额。
据介绍，超高纯�
“这是目前国内有效热区容积最大的热等静压设备，可制备长度4米的超长规格高纯溅射靶材。” 江丰电子董事长兼首席技术官姚力军博士介绍，该设备完全国产化，相关技术参数均达到国际先进水平，可为我国战略性新兴材料的自主可控提供关键的工艺装备。
超大规格设备应需而生
近年来，国内开始出现少量专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业，突破靶材专业技术门槛，已在国内靶材市场占据一定份额。
据介绍，超高纯材料的致密化是制备电子信息产业靶材的基础。热等静压设备可实现高纯粉末冶金溅射靶材有效致密化、靶材基板异种金属大面积扩散焊接，可对超高纯原材料的制备提供消除缺陷、达到完美致密工艺要求的设备保障。
“不妨将靶材和热等静压设备比作食材和高压锅，现有技术条件下，烧制时间变化不大。为提高制备效�
“这是目前国内有效热区容积最大的热等静压设备，可制备长度4米的超长规格高纯溅射靶材。” 江丰电子董事长兼首席技术官姚力军博士介绍，该设备完全国产化，相关技术参数均达到国际先进水平，可为我国战略性新兴材料的自主可控提供关键的工艺装备。
超大规格设备应需而生
近年来，国内开始出现少量专业从事高纯溅射靶材研发和生产的企业，突破靶材专业技术门槛，已在国内靶材市场占据一定份额。
据介绍，超高纯材料的致密化是制备电子信息产业靶材的基础。热等静压设备可实现高纯粉末冶金溅射靶材有效致密化、靶材基板异种金属大面积扩散焊接，可对超高纯原材料的制备提供消除缺陷、达到完美致密工艺要求的设备保障。
“不妨将靶材和热等静压设备比作食材和高压锅，现有技术条件下，烧制时间变化不大。为提高制备效�
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